全自动晶圆收料设备


全自动晶圆收料设备的收料部分采用自动卡夹收取,并对Lens有自动纠偏,料盒缓冲工程,自动收取功能,分左右2个区一次可承载100片盖板玻璃

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全自动硅片上下料设备

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