全自动SPM超声清洗设备


设备概况

设备名称:全自动SPM超声清洗设备

产品规格

设备型号:KZIC-T-CW-04A

整机尺寸:2500mm(L)X1950mm(W)X2100mm(H)(尺寸可据客户需求改变)

生产产品:2~6寸晶圆片

产能:25片/槽可按客户产能需求设计

操作高度:850±50mm

 设备特点

1.设备骨架为SUS304外包3mmPP,外壳采用进口象牙白PVC板热熔焊接。

2.全自动PLC过程控制 ,采用三菱FX-3U系列PLC+台达彩色触摸屏。

3.内嵌式电柜和人机界面,更加节省空间。

4. 槽体设置温度、液位监控制装置。

5.机械臂手采用直线滑块导向,反向安装,减少油及粉尘污染且便于维护。

6.用户操作人员上料后,全过程自动化控制,减少人工干预。设备具有自动化程度高、运行成本低、生产效率高、性能稳定、安全可靠等特点。

7.设备安全性能高,设备在防漏液、加热、漏电等方面都做了严格的设计,确保人身和厂务安全。




酸碱清洗设备

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腐蚀清洗台

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