半导体用高精密自动配比CDS


介质

NCW1001


DIW


供药能力

供药距离

50m

供应设备

5

供应量

AVG.25L/min

过滤等级

5μm

环境等级

EL

过程控制

过程控制

全自动

系统组成

日本三菱PLC+三菱7”触摸屏+三菱5.5”便携式触摸屏;

设备通讯

光纤信号交互;

材质说明

触液部分材质

PFA/PTFE

非触液部分材质

PVC(抗静电)

特点:

设备特点:

  1. 自动化程度高;

  2. 自动配液,实现药水与水的任意比例配比,配比精度达到1%

  3. 具备配液在设备内部的自循环功能,确保药水均匀性;

  4. 循环槽内安装PH计,用于实施监控药水的PH值或ORP值;

  5. 具备循环管路,即使客户端设备不需要用药,药水仍然在设备内部与管路之间不停循环,确保药水均匀性稳定;

  6. 洁净度高,触液部分全部采用电子级纯氟材料;

  7. 安全性高,所有管路均采用双层防爆管路;


远程硫酸铜CDS

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标准型光伏用CDS

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