远程硫酸铜CDS




设备介绍:

设备特点:

1.设备体积小,自动化程度高;

2.设备内部放置两个原液桶,具备自动切换功能,可靠性高;

3.具备自动配比功能;

4.具备管路循环功能;

5.具备VMB功能,药水在车间内部进行分流,节约管路成本;

6.远程操作功能,即使生产车间内,也能实时观察设备状态或操作设备;

7.洁净度高,整体采用电子级材料;

8.安全性高,所有管路均采用双层防爆管路。


IPA CDS

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半导体用高精密自动配比CDS

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