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全自动石墨烯刻蚀清洗机

全自动石墨烯刻蚀清洗机

槽体:清洗部分PP材质; 外壳:白色PP工程塑料板 管路:管路位于机台下后部,便于拆卸维护,主要材质PP-H。 设自动补液系统: 监测:开门保护;环境负压监测;过滤前后压力监测;

晶洲装备全自动石墨烯刻蚀清洗设备2晶洲装备全自动石墨烯刻蚀清洗设备

槽体:清洗部分PP材质;

外壳:白色PP工程塑料板

管路:管路位于机台下后部,便于拆卸维护,主要材质PP-H。

设自动补液系统:

监测:开门保护;环境负压监测;过滤前后压力监测;

完善的安全保护机制,整机所有正面门窗设传感器保护,门窗开启时可设定设备强制停机或报警。

排风:根据流体学原理设计位于机台后上部,并配有导流和风量调节装置;

工作照明:机台上方配防水照明灯;

DI/N2 GUN:可伸缩的N2 Gun 1把和DI水枪1把,分置于工作设备左右侧;

入料说明

设备上料侧设门窗1处,门窗设开门传感器,当门窗开启时,系统锁定机械手自动屏蔽上料台,防止机械手撞人;

操作人员需要上料时,打开门窗,将承载篮放置于平台特定位置,当位置固定完毕后,上料台操作侧会出现闪烁的绿灯,提示操作人员物料已经到位;

操作人员关闭门窗,传感器感应到门窗处于关闭状态后,系统解除上料屏蔽;

操作人员通过双手按下物料就绪按钮,此时,若机械手处于闲置状态,即自动移动至上料位提篮并完成整个清洗过程。

出料说明

出料侧设门窗1处,门窗设开门传感器,当门窗开启时,系统锁定机械手屏蔽下料台,防止机械手撞人;

当下料台已经具备物料时,系统会声光报警提醒操作人员下料。操作人员打开门窗,此时若机械手暂停于下料位,系统会自动强制机械手离开;

操作人员将物料移走,并关闭门窗,此时若机械手可以下料,则自动进行下一个下料循环。


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