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G6入料前清洗机/Initial Cleaner

G6入料前清洗机/Initial Cleaner

晶洲装备G4.5入料前清洗机


适用工艺:蒸镀前/镀膜前、磨边后、入料等全系列
适用基板厚度:≥0.2mm
适用基板尺寸:G2.5~G8.5,超出范围请与Kzone咨询
清洗方式:Shower Or DIP
设备类型:Double CV传输设备,U型传输设备,Line传输设备,Custom Made
工艺能力:Contact Angle: <7°(Bare Glass),Particle Removal Rate:>99%(1~3μm),ESD<|±100|V ,No Mura, No Roller Mark, No Contamination and No Scratch
可配置模块:
1. CV & Turn单元            2.Loading & Unloading单元
3. Elevator单元              4. EUV/AP Plasma单元
5. Neutral单元               6. Roller Brush/Disk Brush单元
7. Detergent单元           8. HP/BJ/HPMJ/MS/Vapor单元
9. IR/Cooling单元          10. AK单元        11. Custom Made 
 
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