清洗机/Cleaner-TFT-LCD/OLED湿制程设备-产品与解决方案-显示-苏州晶洲装备科技有限公司

晶洲装备先后完成了从G2.5到G8.6及以上尺寸INC/UPC，DKC，DIC，BPC，ODF等各工艺类型清洗机设备的自主研发 清洗机/Cleaner

工序数:单张基板需清洗 30 次以上，占面板制程总工序约 30%
台套数:单 AMOLED 30K前段工厂需求≥50 台/套

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设备详情

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高精度稳定搬送

精密工艺控制

基板表面处理能力强

全面防污染设计

系统化解决方案

设备参数

适用工艺	INC/UPC，DKC，DIC，BPC，ODF……
适用基板尺寸	所有尺寸
适用基板厚度	≥0.3mm
清洗方式	UV/AP，DB/RB Brush，HP，BJ/SJ，HPMJ，MS，IR……
设备类型	I型、U型、线型、定制
工艺指标	接触角颗粒去除率静电防护无 Mura、无滚痕、无污染、无划痕低运行成本